氦质谱检漏仪的特点：检测时间和周期非常短，可以达到5s以内；检测的介质比较常用，仅需压缩空气即可；氦质谱检漏仪不会受到主观因素判断的影响；检测的数据精准；自动生成数据保存，可追溯数据来源。
检漏仪的响应时间会影响检漏工作的速度，正常运行的仪器响应时间不大于3s。
笔者实测时，真空检漏仪，在漏点处喷射氦气5～10s后，检漏仪就发生响应，对于如此庞大的真空系统，其反应是相当的灵敏。

氦质谱检漏主要领域：原子能工业——气体扩散处理系统；高能物理研究院——及其配件；氦质谱检漏仪是用示踪气体氦气的专门用于检漏的仪器，它性能稳定，灵敏度高，是真空检漏技术中较成熟的设备，质谱检漏仪，使用比较普遍的检漏仪。
为工厂作业人员的安全以及环境保护，氦质谱检漏仪成为化工管道检漏的的选择。
氦质谱检漏主要领域：电力工业——高压开关、避雷器、发电厂冷凝器系统；电力工业——电子器件、半导体、传感器和积成电路；

检漏的方式是：链接被检化工管道和真空泵组以及氦质谱检漏仪，用真空泵组把管道抽真空，检漏设备，达到一定真空度。
氦质谱检漏法由于其高的灵敏度、方法的多样性、对各种试件的适应性以及无破坏性，广州检漏仪，使其广泛应用。
对检漏方法的要求：检漏灵敏度高，可以检出很小的漏孔；反应时间短，可以提高工作效率；根据具体被检对象，所用方法简便易行，经济实用。

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