氦质谱检漏仪是如何工作的?氦质谱检漏仪由离子源、分析器、、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。
为了方便解释氦质谱检漏仪是如何工作的,我们以磁偏转型的氦质谱检漏仪为例进行说明。
在质谱室的离子源N内,气体被电离成离子。
在电场作用下离子聚焦成東,空调制冷系统氦检解决方案,并以-定的速度经由缝隙S1进入磁分析器,在均匀磁场的作用下,具有-定速度的离子束,将按圆形轨迹运动。
调节加速电压U使氦离子束M z恰能通过缝隙S2到达收集极K而形成离子流。
利用弱电流量测设备,使之在输出仪表与音响装置上反映出来。
而其他不同于M2的离子束则以不同的偏转半径而被分开。
检漏步骤为:若步骤1和2均未检出漏点,就要考虑各个真空泵性能的问题,首要检查机械泵油、罗茨泵油是否缺少,如果泵油缺少会大大降低泵的抽气性能,其次检查机械泵的阀片,通过向机械泵排气口喷吹氦气来检测其阀片的密封性。
扩散泵油或扩散泵加热器异常也会造成极限压不合格。
还应检查真空计是否准确以及真空系统设计是否满足技术要求。
漏孔距离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同,所以喷氦气应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远进行。
对检漏方法的要求:能定位、定量,即不经能够找出漏孔的位置,还能知道漏率的大小,以便确定是否合乎质量要求;能无损检漏,不使被检设备受到损伤和污染;检漏的方式是:链接被检化工管道和真空泵组以及氦质谱检漏仪,用真空泵组把管道抽真空,达到一定真空度。
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