对于分装或总装，采用吸入法。
被检工件冲入氦-氮混合气体，利用被检工件装配面或疑是漏点进行找漏。
检漏仪显示数值超过规定值即为有漏。
对于体积较大的工件，采用背压发，按照工件体积的大小试用不同大小的检漏罐。
通常把被检工件冲入0.6MPa的纯氦或氦（含量30%）-氮混合气体，然后放入检漏罐中。
漏孔距离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同，所以喷氦气应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远进行。

检漏仪的响应时间会影响检漏工作的速度，正常运行的仪器响应时间不大于3s。
笔者实测时，在漏点处喷射氦气5～10s后，检漏仪就发生响应，对于如此庞大的真空系统，其反应是相当的灵敏。
用于电厂检漏的氦质谱检漏仪。
关键部件均为进口，性能。
不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。
质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进入室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进入磁场，空调制冷系统氦检解决方案，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。

氦质谱检漏方法 以其高灵敏度和准确性而通常应用于整体防漏等级较高的压力容器上。
氦检方法基本上可分为用氦气内部加压法和 设备内部抽真空外部施氦这两种。
氦质谱检漏主要领域：空调制冷工业——压缩机、冷凝器、蒸发器及阀门等；真空科学与工业——泵、阀门、真空规管以及镀膜机、真空炉等真空系统；于氦检是通过氦穿过漏孔来检漏的，所以焊缝表面若存有油污、 焊渣以及设备内部的积水、污垢等都会使泄漏孔暂时阻塞而影响检测结果，因此，测试前必须设备内部清理干净及焊缝表面并用热风装置将设备内部干燥。

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