氦质谱检漏主要领域：冶金——真空电炉；低温与压力容器——液氮和液氦储存罐、生物制品容器及各类压力容器；轻工产品——保温杯、太阳能集热管、饮料罐口等。
氦质谱检漏主要领域：电力工业——高压开关、避雷器、发电厂冷凝器系统；电力工业——电子器件、半导体、传感器和积成电路；氦质谱检漏主要领域：原子能工业——气体扩散处理系统；高能物理研究院——及其配件；

对检漏方法的要求：稳定性好，即可以在足够长时间内灵敏度；所用“示踪气体”在空气中含量低，无毒，不腐蚀零件；氦质谱检漏主要领域：空调制冷工业——压缩机、冷凝器、蒸发器及阀门等；真空科学与工业——泵、阀门、真空规管以及镀膜机、真空炉等真空系统；对于容积较小的部件，如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等，采用氦罩法被检工件抽空，检漏仪调到漏率（10-11Pa.m3/s），然后对氦罩冲氦。

为了避免串液故障发生，需要对导流区域和二道密封区域进行氦质谱检漏。
采用真空法进行检漏时，采用水环泵、旋片泵、不锈钢波纹管、球阀、节流阀组建真空系统。
首先使用水环泵抽真空，然后充入氮气，再次使用水环泵抽真空，空调截止阀检漏，反复几次对换热器内部抽出水蒸气和粉尘。
使用工业吸尘器对换热器外表面除尘和干燥。
使用旋片泵抽真空和氮气置换的方式对换热器内部进一步干燥。
干燥后在管热管抽真空后，在的漏点喷氦气，观察氦检仪显示情况。
对漏点进行堵漏。

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