氦质谱检漏仪是如何工作的?氦质谱检漏仪由离子源、分析器、、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。
为了方便解释氦质谱检漏仪是如何工作的，我们以磁偏转型的氦质谱检漏仪为例进行说明。
在质谱室的离子源N内，气体被电离成离子。
在电场作用下离子聚焦成東，并以-定的速度经由缝隙S1进入磁分析器，在均匀磁场的作用下，具有-定速度的离子束，将按圆形轨迹运动。
调节加速电压U使氦离子束M z恰能通过缝隙S2到达收集极K而形成离子流。
利用弱电流量测设备，家用制冷行业氦检解决方案，使之在输出仪表与音响装置上反映出来。
而其他不同于M2的离子束则以不同的偏转半径而被分开。

对于分装或总装，采用吸入法。
被检工件冲入氦-氮混合气体，利用被检工件装配面或疑是漏点进行找漏。
检漏仪显示数值超过规定值即为有漏。
对于体积较大的工件，采用背压发，按照工件体积的大小试用不同大小的检漏罐。
通常把被检工件冲入0.6MPa的纯氦或氦（含量30%）-氮混合气体，然后放入检漏罐中。
漏孔距离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同，所以喷氦气应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远进行。

航天技术的不断发展， 泄漏问题已经成为航天产品设计制造中必须考虑的关键因素，越来越多的收到各方关注，相关电子元器件漏率检测已经引起科研人员的高度重视，目前应用检漏技术的主要是为密封继电器、集成电路外壳。
.利用氢质谱检漏仪可以方便地对密封继电器作漏率测定。
针对不同的产品，采用合适的检漏方法。
目前密封继电器的漏率检测主要是GJB360A-96的112实验程序。

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