氦质谱检漏主要领域：原子能工业——气体扩散处理系统；高能物理研究院——及其配件；氦质谱检漏设备因氦比空气轻，因此要注意检漏的顺序，检查顺序应依照由下而上，真空氦检漏解决方案， 由近而远的顺序进行。
氦质谱检漏方法 以其高灵敏度和准确性而通常应用于整体防漏等级较高的压力容器上。
氦检方法基本上可分为用氦气内部加压法和 设备内部抽真空外部施氦这两种。

氦质谱检漏仪使用氦气作为示踪气体，氦是单原子稀有气体分子，在空气中的含量(5.2ppm)， 无色、无味，常温下为气态的惰性气体，极不活泼，既不能燃烧，也不助燃，化学性能稳定。
在检测器件的密封性能时，遇到器件大漏时，有大量的氦气进入氦质谱检漏仪，短时间内仪器内部氦气难以清除，造成仪器的本底升高，仪器的检测灵敏度降低，影响仪器的再次检测精度。

对检漏方法的要求：稳定性好，即可以在足够长时间内灵敏度；所用“示踪气体”在空气中含量低，无毒，不腐蚀零件；氦质谱检漏主要领域：空调制冷工业——压缩机、冷凝器、蒸发器及阀门等；真空科学与工业——泵、阀门、真空规管以及镀膜机、真空炉等真空系统；对于容积较小的部件，如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等，采用氦罩法被检工件抽空，检漏仪调到漏率（10-11Pa.m3/s），然后对氦罩冲氦。

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