氦质谱检漏法由于其高的灵敏度、方法的多样性、对各种试件的适应性以及无破坏性，使其广泛应用。
氦质谱检漏方法 以其高灵敏度和准确性而通常应用于整体防漏等级较高的压力容器上。
氦检方法基本上可分为用氦气内部加压法和 设备内部抽真空外部施氦这两种。
对检漏方法的要求：能定位、定量，即不经能够找出漏孔的位置，还能知道漏率的大小，以便确定是否合乎质量要求；能无损检漏，不使被检设备受到损伤和污染。

氦质谱检漏仪用于对容器或器件的密封性进行检测，对被检件泄漏点进行定性、定量和定位的检测。
仪器利用内置的真空系统，将被检气体抽入到仪器内部，然后将该混合气体离化，并将离子加速送入磁场当中，利用带电离子在磁场中的偏转效应，使氦离子与其它离子分离，通过对此氦离子信号的接收、放大和显示，从而反映出被测器件的密封性。

仪器工作在稳定的状态，在仪器的检漏口喷一定量的氦气， 分别采取持续抽、空气清氦、氮气清氦的清氦方式，仪器再按开始键，电力行业检漏厂，记录清氦所需时间。
而通过实验表明，利用氮气来清氦的效率是高的。
鉴于仪器在检漏的过程中氮气清氦的优越性，对仪器的系统进行改进。
增加清氦电磁阀。
在氦质谱检漏仪中增加氮气清洗设置，有效的避免了在检漏过程中，氦气残留对仪器检测灵敏度的影响，另外仪器控制中还可以增加大漏保护设置，即仪器在检测到大漏时，仪器自动停止，防止大量氦气再进入仪器中。
再者将前级泵换成干泵也是不错的选择，利于对仪器的清氦，保证仪器检测的高灵敏度。

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