氦质谱检漏仪是如何工作的?氦质谱检漏仪由离子源、分析器、、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。
为了方便解释氦质谱检漏仪是如何工作的，我们以磁偏转型的氦质谱检漏仪为例进行说明。
在质谱室的离子源N内，气体被电离成离子。
在电场作用下离子聚焦成東，并以-定的速度经由缝隙S1进入磁分析器，在均匀磁场的作用下，具有-定速度的离子束，将按圆形轨迹运动。
调节加速电压U使氦离子束M z恰能通过缝隙S2到达收集极K而形成离子流。
利用弱电流量测设备，使之在输出仪表与音响装置上反映出来。
而其他不同于M2的离子束则以不同的偏转半径而被分开。

实验程序中明确规定了密封继电器的检漏条件及步骤，电力行业检漏设备，本次主要讨论背压法检漏属于检漏步骤中的细检漏。
继电器的背压检漏法一般分为三步: 1加氦压:将被检继电器放入充氦的压力罐中; 2净化:从压力罐中取出继电器，用氮气流或者空气流吹净继电器表面吸附的氦气。
3检漏:将继电器放入检漏仪的检漏盒中进行检测，若继电器有漏，压入内腔的氦气会经过漏孔进入检漏仪，仪器上会有漏率显示。

为了避免串液故障发生，需要对导流区域和二道密封区域进行氦质谱检漏。
采用真空法进行检漏时，采用水环泵、旋片泵、不锈钢波纹管、球阀、节流阀组建真空系统。
首先使用水环泵抽真空，然后充入氮气，再次使用水环泵抽真空，反复几次对换热器内部抽出水蒸气和粉尘。
使用工业吸尘器对换热器外表面除尘和干燥。
使用旋片泵抽真空和氮气置换的方式对换热器内部进一步干燥。
干燥后在管热管抽真空后，在的漏点喷氦气，观察氦检仪显示情况。
对漏点进行堵漏。

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