氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率，简便易操作，上海检漏仪，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。
将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，真空检漏仪，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。
氦质谱检漏仪为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。

氦质谱检漏仪为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。
氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。
由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
氦气检漏仪可同时检测多工件，并能按照需求自动判断出具体的有漏工件；专业定制的的密封接头，稳定可靠，减少误判。

氦质谱检漏主要领域：航空航天——燃料箱、油箱、及各种电机等；仪表制造——压力传感器、阀门、波纹管和密封焊接件等；氦质谱检漏仪在管道检测方面有两种检测方法，负压法和正压法，一般化工管道采用的是负压法。
负压法就是常说的抽真空，这是氦质谱检漏仪常用的检漏方法。
氦质谱检漏主要领域：冶金——真空电炉；低温与压力容器——液氮和液氦储存罐、生物制品容器及各类压力容器；轻工产品——保温杯、太阳能集热管、饮料罐口等。

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