氦质谱检漏主要领域：冶金——真空电炉；低温与压力容器——液氮和液氦储存罐、生物制品容器及各类压力容器；轻工产品——保温杯、太阳能集热管、饮料罐口等。
质谱检漏仪之间使用金属软管连接。
氦质谱检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每 1- 2 小时校验。
随着压力容器出口产品的增加及各制造企业对产品质量的重视，汽车行业检漏厂，氦质谱检漏仪的方法在我国的压力容器制造业中的应用也逐年递增。
氦质谱检漏主要领域：原子能工业——气体扩散处理系统；高能物理研究院——及其配件；氦质谱检漏设备因氦比空气轻，因此要注意检漏的顺序，检查顺序应依照由下而上， 由近而远的顺序进行。
氦质谱检漏方法 以其高灵敏度和准确性而通常应用于整体防漏等级较高的压力容器上。
氦检方法基本上可分为用氦气内部加压法和 设备内部抽真空外部施氦这两种。
检漏步骤为:若步骤1和2均未检出漏点，就要考虑各个真空泵性能的问题，首要检查机械泵油、罗茨泵油是否缺少，如果泵油缺少会大大降低泵的抽气性能，其次检查机械泵的阀片，通过向机械泵排气口喷吹氦气来检测其阀片的密封性。
扩散泵油或扩散泵加热器异常也会造成极限压不合格。
还应检查真空计是否准确以及真空系统设计是否满足技术要求。
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