氦质谱检漏仪用于对容器或器件的密封性进行检测，对被检件泄漏点进行定性、定量和定位的检测。
仪器利用内置的真空系统，将被检气体抽入到仪器内部，然后将该混合气体离化，并将离子加速送入磁场当中，利用带电离子在磁场中的偏转效应，使氦离子与其它离子分离，通过对此氦离子信号的接收、放大和显示，从而反映出被测器件的密封性。

氦质谱检漏设备检漏过程中，p3000氦气检漏仪，如发现大量氦气进质谱检漏仪，应立即移去吸，防止因仪器长时间清除不掉氦影响而延误测试。
于氦检是通过氦穿过漏孔来检漏的，所以焊缝表面若存有油污、 焊渣以及设备内部的积水、污垢等都会使泄漏孔暂时阻塞而影响检测结果，因此，测试前必须设备内部清理干净及焊缝表面并用热风装置将设备内部干燥。
氦质谱检漏主要领域：电力工业——高压开关、避雷器、发电厂冷凝器系统；电力工业——电子器件、半导体、传感器和积成电路；

检漏设备：质谱检漏仪之间使用金属软管连接。
氦质谱检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每 1- 2 小时校验。
检漏的方式是：链接被检化工管道和真空泵组以及氦质谱检漏仪，用真空泵组把管道抽真空，达到一定真空度。
氦质谱检漏主要领域：航空航天——燃料箱、油箱、及各种电机等；仪表制造——压力传感器、阀门、波纹管和密封焊接件等。

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