可先用氮气或其它惰性气体将设备压力提高， 然后用纯氦气或氦气混合气把测试设备的内压增加至测试压力且 应使设备内部至少含有10%-20%的氦气含量。
随着压力容器出口产品的增加及各制造企业对产品质量的重视，氦质谱检漏仪的方法在我国的压力容器制造业中的应用也逐年递增。
漏孔距离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同，所以喷氦气应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远进行。

氦质谱检漏仪的检漏率应高于设备所允许漏率1-2个数量级。
首先将设备稳固的置于明亮、透风良好的场所，连接好检漏用管路及压力表，汽车行业检漏厂，应将压力表安装在测漏容器的顶部便于观察的位置。
质谱检漏仪之间使用金属软管连接。
氦质谱检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每 1- 2 小时校验。
氦质谱检漏主要领域：原子能工业——气体扩散处理系统；高能物理研究院——及其配件；

为了避免串液故障发生，需要对导流区域和二道密封区域进行氦质谱检漏。
采用真空法进行检漏时，采用水环泵、旋片泵、不锈钢波纹管、球阀、节流阀组建真空系统。
首先使用水环泵抽真空，然后充入氮气，再次使用水环泵抽真空，反复几次对换热器内部抽出水蒸气和粉尘。
使用工业吸尘器对换热器外表面除尘和干燥。
使用旋片泵抽真空和氮气置换的方式对换热器内部进一步干燥。
干燥后在管热管抽真空后，在的漏点喷氦气，观察氦检仪显示情况。
对漏点进行堵漏。

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