质谱检漏仪之间使用金属软管连接。
氦质谱检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每 1- 2 小时校验。
氦质谱检漏设备因氦比空气轻，因此要注意检漏的顺序，真空箱氦检漏系统，检查顺序应依照由下而上， 由近而远的顺序进行。
对于分装或总装，氦气检漏系统，采用吸入法。
被检工件冲入氦-氮混合气体，利用被检工件装配面或疑是漏点进行找漏。
检漏仪显示数值超过规定值即为有漏。

一般检漏都采用氦气(He)作为示漏气体，江苏检漏系统，但也有用氢气(H)作为示漏气体的，考虑到它的化学性质及危险性，在应用中较少使用，所以实际大部分检漏使用的都是氦气。
氦质谱检漏仪主要技术指标：1. 小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s。
2. 漏率显围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s据日本有关文章介绍，日本汽车制造业，已有30多种零部件在使用氦质谱检漏仪检漏，解决密封问题。
其中包括液压系统、制动系统、转向系统、避震系统、汽车轮毂。

检漏仪对示漏气体的要求：在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气体，满足检漏灵敏度方面的要求，减少本底干扰检测的准确性。
氦质谱检漏仪不会受到主观因素判断的影响；检测的数据精准；自动生成数据保存，可追溯数据来源。
氦气检漏仪特有的清氦系统，快速有效地清除超标的氦本底，保证检测的稳定性和准确性；实时监测氦气压力和浓度，保证了工件检测的精度；

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