在真空设备漏情况的检查之中也有专业的仪器保证了检查效果的稳定性，而且这种氦质谱检漏仪系统中的精准的线路检测能力得到了更好的提升，氦质谱检漏仪是用氦气作示漏气体，以气体剖析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。
氦气作为一种惰性气体，对设备无腐蚀性，对容器环境和质谱环境干扰小，因此常作为漏气体使用。
消费者在选购氦质谱检漏仪时必须要注意这种仪器自身的能力和消费的需求，并且在挑选氦质谱检漏仪时注意这种设备的价格和操作模式，
氦质谱检漏方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用，这种方法的优点是:检漏灵敏度高，可以检漏到10 -11 Pam3 / s 数量级，仪器响应快，空调压缩机氦检，检漏仪喷氦法一般用于检测体积相对较小的部件，将被检器件和仪器连通，在抽好真空后，在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头，焊缝等) 用喷氦。
氦分子在仪器高真空的环境中扩散的速度很高;所以氦质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用，
在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、、飞机等这些都要用到真空检漏技术。
检漏仪检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，质量范围很宽，不仅可检测氦气，而且能检测其它气体。
在一般工业领域里原子能、发电厂、配电站、合成氨的氮肥生产厂、汽车制造业、造船工业、制冷工业、冶金工业、输气管道、气罐、油罐、锅炉快餐食品包装等都离不开检漏问题，
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